?氬氣在等離子清洗機(jī)中的作用

來源：www.srn6.com | 發(fā)布時(shí)間：2022年12月05日

氬氣在等離子清洗機(jī)中的作用
我們了解過氬氣因?yàn)槠湫再|(zhì)不活潑，被廣泛應(yīng)用于照明技術(shù)，窗戶玻璃隔熱等領(lǐng)域，其實(shí)氬氣還有一個(gè)非常重要的應(yīng)用，那就是被應(yīng)用在等離子清洗機(jī)中，那么，氬氣在等離子清洗機(jī)中的作用有哪些？下面是小編為大家做出的總結(jié)，我們一起來跟新疆橋架生產(chǎn)廠家看一下。
1、表面清潔
在晶圓、玻璃等產(chǎn)品表面顆粒的清除過程中，通常會(huì)采用等離子體對材料表面的顆粒進(jìn)行轟擊，加以實(shí)現(xiàn)對顆粒的分散和松動(dòng)處理，然后再進(jìn)行離心清洗等處理工藝，會(huì)有著顯著的效果。在半導(dǎo)體封裝應(yīng)用中尤為突出，在經(jīng)過打線工藝后為防止導(dǎo)線氧化，需采用氬等離子體或氬氫等離子對產(chǎn)品表面進(jìn)行等離子清洗，實(shí)現(xiàn)更好的產(chǎn)品處理效果。
2、表面粗化
等離子清洗機(jī)的表面粗化處理也稱為表面刻蝕處理，其主要目的是提升材料的表面粗糙度，進(jìn)而增強(qiáng)材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性氣體經(jīng)處理后也可提升產(chǎn)品表面張力，但氬離子化產(chǎn)生的顆粒要更重，在電場的作用下氬離子的動(dòng)能較高于其他活性氣體，所以其粗化效果更號。氬氣在無機(jī)物表面粗化的過程中應(yīng)用比較廣泛，如玻璃基材的表面處理、金屬基材的表面處理等。
3、活性輔助
在等離子清洗機(jī)的活化和清洗工藝中，工藝氣體經(jīng)常被混合使用，以達(dá)到更佳的效果。因?yàn)闅鍤獾姆肿颖容^大，電離后產(chǎn)生的粒子比較后，在進(jìn)行表面清洗和活化時(shí)通常會(huì)配合活性氣體混合使用，較常見的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體，可有效地對有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面進(jìn)行化學(xué)分解，但其粒子相對較小，斷鍵和轟擊能力有限，如加上一定比例的氬氣，那么所產(chǎn)生的等離子體對有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面的斷鍵和分解能力就會(huì)更強(qiáng)，加快清洗和活化的效率。
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